Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu

DSpace Repository

Login

Language: English čeština 

Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu

Show full item record

No preview available
Title: Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu
Author: Johanidesová, Eva
Advisor: Vašek, Vladimír
Abstract: Diplomová práce popisuje AFM, SMM mikroskopii, jejich funkce a konkurenční mikroskopii SEM. V této práci jsou ukázky a analýzy křemíkových desek, které jsou dodány od firmy ON SEMICONDUCTOR. Tato práce se zabývá koncentracemi příměsi dopantů a porovnáním výsledků s konkurenčními metodami měření.
URI: http://hdl.handle.net/10563/25433
Date: 2013-02-24
Availability: Bez omezení
Department: Ústav automatizace a řídicí techniky
Discipline: Automatické řízení a informatika


Citace závěřečné práce

Files in this item

Files Size Format View
johanidesová_2013_dp.zip 2.581Mb Unknown View/Open
johanidesová_2013_vp.doc 295.5Kb Microsoft Word View/Open
johanidesová_2013_op.pdf 1.796Mb PDF View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Show full item record

Find fulltext

Search DSpace


Browse

My Account