Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
DSpace Repository
- DSpace Home
- Kvalifikační práce dle fakult
- Fakulta technologická
- Ústav fyziky a mater. inženýrství
- Bakalářské práce
- View Item
Language:
English čeština
Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
No preview available
| Title: | Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie |
| Author: | Navrátil, Jaroslav |
| Advisor: | Urbánek, Michal |
| Abstract: | Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM). |
| URI: | http://hdl.handle.net/10563/49042 |
| Date: | 2020-02-03 |
| Availability: | Bez omezení |
| Department: | Ústav fyziky a mater. inženýrství |
| Discipline: | Materiálové inženýrství |
| Grade for thesis and defense: | A
|
Citace závěřečné práce
Files in this item
| Files | Size | Format | View | Description |
|---|---|---|---|---|
| navrátil_2020_dp.pdf | 3.666Mb |
View/ |
None | |
| navrátil_2020_op.docx | 89.55Kb | Unknown |
View/ |
None |
| navrátil_2020_vp.docx | 88.17Kb | Unknown |
View/ |
None |
This item appears in the following Collection(s)
-
Bakalářské práce [131]
