Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil

Repozitář DSpace/Manakin

Jazyk: English čeština 

Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil

Zobrazit celý záznam

Není dostupný náhled
Název: Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil
Autor: Kudělka, Josef
Vedoucí: Navrátil, Milan
Abstrakt: Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této práci rovněž popsán.
URI: http://hdl.handle.net/10563/25506
Datum: 2013-02-08
Dostupnost: Bez omezení
Ústav: Ústav elektroniky a měření
Klasifikace závěřečné práce a její obhajoby: A 31283


Citace závěřečné práce

Soubory tohoto záznamu

Soubory Velikost Formát Zobrazit
kudělka_2013_dp.zip 8.503Mb Neznámý Zobrazit/otevřít
kudělka_2013_vp.doc 292Kb Microsoft Word Zobrazit/otevřít
kudělka_2013_op.pdf 216.9Kb PDF Zobrazit/otevřít

Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích

Zobrazit celý záznam

Find fulltext

Prohledat DSpace


Procházet

Můj účet