Analýza povrchu čipu optickou mikroskopií

Abstract

Nepůvodní elektronické součástky se staly pro jejich dnešní dodavatele podstatnou výzvou s ohledem na prevenci průniku těchto součástek do elektronických výrobků. Díky globalizaci jsou zdroje nepůvodních součástek diverzifikované a jejich zachycení obtížné. Pro účinné zvládání tohoto problému je k dispozici mnoho standardů, organizačních postupů a testovacích metod. Jedna z nejstarších a dodnes populárních metod je optická kontrola, jak pouzdra součástky, tak polovodičového systému po otevření pouzdra. Tato práce měla za cíl přispět svým dílem k této metodě. Práce je zaměřena na zdokonalení metod optické analýzy samotného systému na čipu po odstranění části materiálu pouzdra. Byly použity dva typy mikroskopů, polarizační mikroskop a stereomikroskop. Polarizační mikroskop ukázal své přednosti ve velkém zvětšení a v možnosti zpracování obrazu panoramatickým modulem. Panoramatické zpracování obrazu vychází z dílčích snímků pořízených při velkém zvětšení a jejich následným sestavením do obrazu plochy celého čipu. Stereomikroskop umožňuje pořídit ostré snímky větší struktur, jako je mikro propojení mezi čipem a vnějšími vývody, a také umožňuje zkoumání několika obvodů současně.