Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem

DSpace Repository

Language: English čeština

No preview available

Title:	Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Author:	Navrátil, Jaroslav
Advisor:	Urbánek, Michal
Abstract:	Tato diplomová práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu mikrostruktur v komerčně dostupných materiálech Sigma Aldrich fotorezist a KMPR 1010 pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolání a nastavení elektronového svazku. Vyhodnocení mikrostruktur probíhá za pomocí optického mikroskopu, mechanického profilometru a skenovacího elektronového mikroskopu (SEM).
URI:	http://hdl.handle.net/10563/51261
Date:	2021-12-31
Availability:	Bez omezení
Department:	Ústav fyziky a mater. inženýrství
Discipline:	Materiálové inženýrství