Polymerní filamenty pro 3D tisk přípravků používaných ve výrobě SiC desek

Bobek, Tomáš

Polymerní filamenty pro 3D tisk přípravků používaných ve výrobě SiC desek

DSpace Repository

Language: English čeština

Polymerní filamenty pro 3D tisk přípravků používaných ve výrobě SiC desek

dc.contributor.advisor	Polášková, Martina
dc.contributor.author	Bobek, Tomáš
dc.date.accessioned	2025-12-10T23:10:38Z
dc.date.available	2025-12-10T23:10:38Z
dc.date.issued	2025-01-02
dc.identifier	Elektronický archiv Knihovny UTB
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10563/58738
dc.description.abstract	Tato bakalářská práce hodnotí vhodnost polymerních filamentů pro 3D tisk přípravků používaných při výrobě desek z karbidu křemíku, se zaměřením na chemickou odolnost a minimalizaci kovové kontaminace. Byly testovány 3D tištěné vzorky ze tří polypropylenových filamentů od různých výrobců a jednoho z polyvinylidenfluoridu, vystavené agresivním čisticím roztokům běžně používaným v prostředí polovodičové výroby. Vlastnosti materiálů byly hodnoceny pomocí měření změn hmotnosti a rozměrů, kolorimetrie, optické mikroskopie, diferenciální skenovací kalorimetrie a hmotnostní spektrometrie s indukčně vázaným plazmatem. Všechny vzorky vykazovaly dobrou chemickou odolnost, přičemž nejlepších výsledků dosáhly vzorky připravené z filamentu od výrobce PPprint.
dc.format	67 s. (81 166 znaků).
dc.language.iso	cs
dc.publisher	Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně
dc.rights	Bez omezení
dc.subject	polymerní filamenty	cs
dc.subject	3D tisk	cs
dc.subject	SiC	cs
dc.subject	polovodičová výroba	cs
dc.subject	chemická odolnost	cs
dc.subject	kovová kontaminace	cs
dc.subject	polypropylen	cs
dc.subject	polyvinylidenfluorid	cs
dc.subject	polymer filaments	en
dc.subject	3D printing	en
dc.subject	SiC	en
dc.subject	semiconductor manufacturing	en
dc.subject	chemical resistance	en
dc.subject	metallic contamination	en
dc.subject	polypropylene	en
dc.subject	polyvinylidene fluoride	en
dc.title	Polymerní filamenty pro 3D tisk přípravků používaných ve výrobě SiC desek
dc.title.alternative	Polymer Filaments for 3D Printing of Tools used in SiC Wafer Fabrication
dc.type	bakalářská práce	cs
dc.contributor.referee	Mališová, Kateřina
dc.date.accepted	2025-06-10
dc.description.abstract-translated	This bachelor's thesis evaluates the suitability of polymer filaments for 3D printing of fixtures used in the production of silicon carbide (SiC) wafers, with a focus on chemical resistance and minimization of metallic contamination. 3D-printed samples made from three polypropylene filaments by different manufacturers and one polyvinylidene fluoride filament were tested after exposure to aggressive cleaning solutions commonly used in semiconductor manufacturing environments. Material properties were assessed using weight and dimensional change measurements, colorimetry, optical microscopy, differential scanning calorimetry, and inductively coupled plasma mass spectrometry. All tested samples demonstrated good chemical resistance, with those made from the PPprint filament showing the best overall performance across all evaluations.
dc.description.department	Ústav inženýrství polymerů
dc.thesis.degree-discipline	Polymerní materiály a technologie	cs
dc.thesis.degree-discipline	Polymeric Materials and Technology	en
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická	cs
dc.thesis.degree-grantor	Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology	en
dc.thesis.degree-name	Bc.
dc.thesis.degree-program	Materiály a technologie	cs
dc.thesis.degree-program	Materials and Technologies	en
dc.identifier.stag	71580
dc.date.submitted	2025-05-12