Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil

DSpace Repository

Language: English čeština

No preview available

Title:	Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil
Author:	Kudělka, Josef
Advisor:	Navrátil, Milan
Abstract:	Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této práci rovněž popsán.
URI:	http://hdl.handle.net/10563/25506
Date:	2013-02-08
Availability:	Bez omezení
Department:	Ústav elektroniky a měření
Grade for thesis and defense:	A 31283