Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

DSpace Repository

Login

Language: English čeština 

Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

Show full item record

No preview available
Title: Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku
Author: Kotěna, Jan
Advisor: Minařík, Antonín
Abstract: Cílem této práce byl vývoj a optimalizace nového postupu přípravy strukturovaných povrchů na bázi křemíku metodou anizotropního leptání v teplotních spádech. Tyto povrchy byly následně charakterizovány metodami pro zobrazení topografie povrchu mikroskopií atomárních sil (AFM) a skenovací elektronovou mikroskopií (SEM). Byl zkoumán vliv čistoty povrchu, složení leptacího činidla, času leptání, objemu leptacího média, teploty a teplotních spádů. Z výsledků vyplynulo, že volbou optimálních parametrů leptacího procesu a s použitím speciálně upraveného zařízení pro leptání křemíkových waferů lze připravit různě strukturované povrchy s rozdílnou homogenitou pokrytí a velikostí jednotlivých strukturních útvarů.
URI: http://hdl.handle.net/10563/28787
Date: 2014-02-07
Availability: Bez omezení
Department: Ústav fyziky a mater. inženýrství
Discipline: Materiálové inženýrství
Grade for thesis and defense: A


Citace závěřečné práce

Files in this item

Files Size Format View
kotěna_2014_dp.pdf 5.720Mb PDF View/Open
kotěna_2014_vp.doc 95.5Kb Microsoft Word View/Open
kotěna_2014_op.doc 96Kb Microsoft Word View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Show full item record

Find fulltext

Search DSpace


Browse

My Account